本發(fā)明屬于濺射靶材回收，具體涉及基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法。
背景技術(shù)：
1、ito靶材由90wt％in2o3和10wt％sno2組成，是銦金屬的主要消耗領(lǐng)域，占全球銦消費(fèi)量的70％。隨著電子產(chǎn)品在人們生活中的迅速普及，對(duì)于ito靶材的需求也越來越大。ito在加工和使用過程中會(huì)產(chǎn)生大量的ito廢靶，這是寶貴的二次資源，具有巨大的回收潛力，是銦金屬的潛在寶庫。
2、目前，ito廢靶回收方法主要有熱還原法、酸浸法和熔鹽電解法。熱還原法具有較高的回收率和較低的能耗，但處理成本高，且反應(yīng)過程不易控制。而傳統(tǒng)酸浸法回收ito廢靶具有流程復(fù)雜，效率低下，產(chǎn)生污染物質(zhì)的缺點(diǎn)。熔鹽電解法作為一種備受青睞的綠色回收技術(shù)，可以應(yīng)用于廢棄ito回收。但通常采用cacl2作為脫氧電解質(zhì)，這不僅導(dǎo)致部分ca金屬在陰極產(chǎn)物上沉積，同時(shí)，cacl2熔鹽需要在800℃以上的高溫下進(jìn)行，這也造成了能源的損耗。
3、因此，開發(fā)一種高效、低能耗且對(duì)環(huán)境和人體無危害的ito廢靶的回收方法顯得格外重要。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此，一些實(shí)施例公開的技術(shù)方案是基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，包括：
2、電解槽中設(shè)置低溫熔融鹽電解質(zhì)；低溫熔融鹽電解質(zhì)包括naoh、koh、lioh、naoh-koh、naoh-lioh、koh-lioh或naoh-koh-lioh；
3、惰性金屬坩堝設(shè)置在電解槽內(nèi)，作為陰極；
4、惰性電極設(shè)置在電解槽內(nèi)，作為陽極；
5、ito濺射靶材放置在惰性金屬坩堝內(nèi)；
6、加熱低溫熔融電解質(zhì)到設(shè)定溫度，進(jìn)行電解，惰性金屬坩堝內(nèi)的ito濺射靶材轉(zhuǎn)化為銦錫合金。
7、進(jìn)一步，一些實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，作為陰極的惰性金屬坩堝位于低溫熔融鹽電解質(zhì)液面以下。
8、一些實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，低溫金屬坩堝包括鉬坩堝或鎢坩堝，惰性電極包括石墨電極、鉬電極或鎢電極。
9、一些實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，設(shè)定溫度為170～300℃。
10、一些實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，電解時(shí)間設(shè)定為1.5～3h，電解電壓設(shè)定為1.5～3v。
11、一些實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，ito濺射靶材與低溫熔融鹽電解質(zhì)的質(zhì)量比為1:25～100。
12、本發(fā)明實(shí)施例公開的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，利用低溫熔融熔鹽作為電解質(zhì)，在電荷的作用下，實(shí)現(xiàn)陰極上ito的脫氧，同時(shí)實(shí)現(xiàn)銦、錫的電沉積，銦、錫回收速度快，操作流程簡單，能耗低，環(huán)境友好，具有良好的經(jīng)濟(jì)性。
1.基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，作為陰極的惰性金屬坩堝位于低溫熔融鹽電解質(zhì)液面以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，低溫金屬坩堝包括鉬坩堝或鎢坩堝，所述惰性電極包括石墨電極、鉬電極或鎢電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，所述設(shè)定溫度為170～300℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，電解時(shí)間設(shè)定為1.5～3h，電解電壓設(shè)定為1.5～3v。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，ito濺射靶材與低溫熔融鹽電解質(zhì)的質(zhì)量比為1:25～100。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，電解電流效率為40～65％。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于低溫熔融鹽電解回收ito的方法，其特征在于，產(chǎn)物綜合收率為97～99.9％。