本發(fā)明涉及電子制造，更具體地涉及一種基板處理裝置。
背景技術(shù)：
1、基板處理裝置是一種專用設(shè)備，其功能主要是對電路板基板進行清洗、蝕刻、涂覆等物理或化學(xué)處理；其主要處理工藝步驟為，清洗與前處理，去除基板表面的污染物、表面處理，改善基板表面的附著力，為后續(xù)圖形轉(zhuǎn)移和薄膜沉積做準(zhǔn)備、圖形轉(zhuǎn)移與光刻，將設(shè)計的電路或圖案轉(zhuǎn)移到基板表面、蝕刻，去除未被光刻膠保護的基材，形成電路或結(jié)構(gòu)、電鍍與金屬化，增厚電路導(dǎo)線或?qū)崿F(xiàn)層間連接，阻焊與字符印刷，保護非焊接區(qū)域，防止短路或氧化等步驟。
2、其中電鍍與金屬化分為化學(xué)沉銅、電鍍沉銅、導(dǎo)電膠沉銅，其中化學(xué)沉銅為現(xiàn)如今主要沉銅方式，化學(xué)沉銅主要通過將基板進行一系列步驟處理后浸入沉銅槽，并在槽內(nèi)進行化學(xué)還原反應(yīng)，將基板上非導(dǎo)電處沉積銅層，尤其是化學(xué)處理更適用于大面積、非導(dǎo)電基板及復(fù)雜反應(yīng)場景，是半導(dǎo)體清洗、薄膜沉積的主流技術(shù)。
3、現(xiàn)有化學(xué)沉銅設(shè)備通過攪拌，使化學(xué)液進行自催化還原反應(yīng)，但由于基板以及還原反應(yīng)產(chǎn)生的雜質(zhì)，會導(dǎo)致基板所附著的銅層不均勻，鍍層粗糙，使基板的導(dǎo)電性能下降；
4、其中，攪拌方式多采用渦輪攪拌，此攪拌方式可以很好的將大面積需要附著處進行鍍銅，但因為攪拌方向問題導(dǎo)致基板的小孔洞，并不能均勻鍍銅，影響后期工藝；
5、其次，在沉銅槽內(nèi)攪拌的速率可以保證溶液均勻分布，避免局部濃度過高或過低導(dǎo)致銅沉積不均，流速過低可能造成溶液滯留，影響反應(yīng)效率，但流速并非越高越好，過高的流速可能導(dǎo)致銅沉積不均勻，甚至沖刷掉未固化的銅層，需要對流速進行控制。
6、綜上所述，亟須一種可控流速并設(shè)有過濾機構(gòu)的基板加工裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明提供一種基板處理裝置，以解決上述背景技術(shù)中存在的問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種基板處理裝置，包括沉銅槽，所述沉銅槽的一側(cè)貫穿連接有傳導(dǎo)裝置和傳動裝置，傳動裝置的一側(cè)傳動連接有水流監(jiān)測裝置，傳動裝置的一側(cè)傳動連接有自動噴口裝置；
3、所述水流監(jiān)測裝置包括流速風(fēng)扇，所述流速風(fēng)扇的內(nèi)側(cè)固定連接單向傳動扣，所述流速風(fēng)扇的內(nèi)部活動安裝有扇葉傳動桿，所述扇葉傳動桿的外側(cè)開設(shè)有伸縮槽，所述伸縮槽的內(nèi)部固定連接伸縮彈簧，所述伸縮彈簧的頂部活動連接伸縮扣。
4、進一步的，所述沉銅槽包括沉銅槽體，所述沉銅槽體的一側(cè)開設(shè)有噴嘴口傳動孔，所述沉銅槽體的一側(cè)開設(shè)有滑動槽，所述沉銅槽體的一側(cè)開設(shè)有扇葉傳動孔，所述沉銅槽體的底部開設(shè)有導(dǎo)流管槽。
5、進一步的，所述導(dǎo)流管槽內(nèi)部固定安裝有導(dǎo)流管，所述導(dǎo)流管的一端固定連接有壓力泵，所述壓力泵的頂部固定連接有輸出管，所述輸出管的兩側(cè)固定連接有輸出支管，所述輸出支管的頂部固定連接有過濾倉，所述過濾倉的一側(cè)開設(shè)有過濾倉輸出孔。
6、進一步的，所述傳動裝置包括螺紋管，所述螺紋管的外側(cè)活動連接有空心伸縮桿，所述空心伸縮桿的一端固定連接有空心傳動齒輪，所述空心傳動齒輪的頂部傳動連接有傳動齒條，所述傳動齒條的底部固定連接有限位板，所述傳動齒條的頂部傳動連接有傳動齒輪，所述傳動齒輪的一側(cè)固定連接有扇葉傳動桿。
7、進一步的，所述沉銅槽體的內(nèi)側(cè)固定連接有固定外殼，所述固定外殼的一側(cè)固定連接有扇葉固定板，所述扇葉傳動桿的一側(cè)固定連接傳動齒輪，所述扇葉傳動桿的另一側(cè)活動連接扇葉固定板，所述扇葉傳動桿的中心傳動連接流速風(fēng)扇。
8、進一步的，所述空心伸縮桿的一端固定連接有傳動環(huán)，所述傳動環(huán)的一側(cè)活動連接有夾臂桿一，所述夾臂桿一的一端活動連接有夾臂桿二，所述夾臂桿二的中部活動連接有固定桿，所述固定桿的底部固定連接有噴口管，所述夾臂桿二的一端活動連接有噴口。
9、進一步的，所述夾臂桿一在噴口閉合時與噴口管形成30°夾角，所述噴口此時內(nèi)側(cè)緊貼，呈閉合狀，所述傳動環(huán)向空心伸縮桿所在一側(cè)運動時，所述噴口管與夾臂桿一形成的夾角角度逐漸減小，直至夾臂桿一與噴口管平行，所述噴口此時張開程度為最大值；所述夾臂桿二的一端受夾臂桿一影響，以固定桿為支點，另一側(cè)反向上下運動，所述噴口與夾臂桿二另一側(cè)同步運動。
10、進一步的，所述傳動裝置在沉銅槽體外側(cè)側(cè)壁上共設(shè)有兩個，所述沉銅槽體的外壁滑動連接有傳動齒條，所述傳動齒條控制兩個自動噴口裝置與一個水流監(jiān)測裝置，所述傳動齒條向內(nèi)運動，由外向內(nèi)逐一關(guān)閉自動噴口裝置，所述傳動齒條的底部固定連接有外側(cè)限位板，所述外側(cè)限位板與外側(cè)空心傳動齒輪接觸時，傳動齒條內(nèi)側(cè)底部傳動內(nèi)側(cè)空心傳動齒輪運動。
11、進一步的，所述水流監(jiān)測裝置對稱安裝在沉銅槽體內(nèi)壁，所述扇葉傳動桿中部貫穿且活動安裝在扇葉傳動孔中，所述自動噴口裝置共設(shè)有四處，對稱分布于沉銅槽體內(nèi)部，所述噴嘴口傳動孔的內(nèi)部貫穿且活動安裝有空心伸縮桿中。
12、本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點：
13、1．本發(fā)明通過設(shè)有水流監(jiān)測裝置，通過流速風(fēng)扇監(jiān)測沉銅槽內(nèi)部溶液的流速，溶液流速過快時，風(fēng)扇轉(zhuǎn)速越快，反之則轉(zhuǎn)速降低，并將其反饋至傳動裝置，并逐個開啟以及關(guān)閉自動噴口裝置，實現(xiàn)對溶液流速的控制，有利于減少因流速過快導(dǎo)致的銅層沉積不均勻，以及因流速過慢導(dǎo)致的溶液化學(xué)反應(yīng)不充分和溶液滯留現(xiàn)象，保證了保證溶液均勻分布，避免局部濃度過高或過低導(dǎo)致銅沉積不均，加強了基板上鍍銅的均勻性。
14、2．本發(fā)明通過設(shè)有傳導(dǎo)裝置，通過壓力泵將沉積在沉銅槽底部的溶液以及雜質(zhì)吸入，經(jīng)過輸出管及支管，進入過濾倉，將雜質(zhì)進行過濾處理，減少溶液中雜質(zhì)比例，有利于銅層的均勻分布，并減少因雜質(zhì)堵塞導(dǎo)致的機械維修成本以及生產(chǎn)效率的降低。
15、3．本發(fā)明通過設(shè)有自動噴口裝置，通過噴口噴出溶液，對沉銅槽內(nèi)溶液進行攪動，其次噴口的排布和方向，使噴出的溶液更好的附著于基板上，并且通過水流監(jiān)測裝置的傳動，逐一閉合噴口，實現(xiàn)對溶液流速的控制，在流速未達閾值時，受水壓壓力影響，逐一張開噴口，有利于槽內(nèi)溶液流速的自控，減少了調(diào)整參數(shù)所造成的影響，加快生產(chǎn)效率以及銅層附著的均勻性。
1.一種基板處理裝置，包括沉銅槽（1），其特征在于：所述沉銅槽（1）的一側(cè)貫穿連接有傳導(dǎo)裝置（2）和傳動裝置（3），所述傳動裝置（3）的一側(cè)傳動連接有水流監(jiān)測裝置（4），所述傳動裝置（3）的一側(cè)傳動連接有自動噴口裝置（5）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述沉銅槽（1）包括沉銅槽體（101），沉銅槽體（101）的一側(cè)開設(shè)有噴嘴口傳動孔（102），沉銅槽體（101）的一側(cè)開設(shè)有滑動槽（103），沉銅槽體（101）的一側(cè)開設(shè)有扇葉傳動孔（104），沉銅槽體（101）的底部開設(shè)有導(dǎo)流管槽（105）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述導(dǎo)流管槽（105）內(nèi)部固定安裝有導(dǎo)流管（201），所述導(dǎo)流管（201）的一端固定連接有壓力泵（202），所述壓力泵（202）的頂部固定連接有輸出管（203），所述輸出管（203）的兩側(cè)固定連接有輸出支管（204），所述輸出支管（204）的頂部固定連接有過濾倉（205），所述過濾倉（205）的一側(cè)開設(shè)有過濾倉輸出孔（206）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述傳動裝置（3）包括螺紋管（301），所述螺紋管（301）的外側(cè)活動連接有空心伸縮桿（303），所述空心伸縮桿（303）的一端固定連接有空心傳動齒輪（302）。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述沉銅槽體（101）的內(nèi)側(cè)固定連接有固定外殼（401），所述固定外殼（401）的一側(cè)固定連接有扇葉固定板（402），所述扇葉傳動桿（404）的一側(cè)固定連接傳動齒輪（306），所述扇葉傳動桿（404）的另一側(cè)活動連接扇葉固定板（402），所述扇葉傳動桿（404）的中心傳動連接流速風(fēng)扇（403）。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述空心伸縮桿（303）的一端固定連接有傳動環(huán)（501），所述傳動環(huán)（501）的一側(cè)活動連接有夾臂桿一（503），所述夾臂桿一（503）的一端活動連接有夾臂桿二（504），所述夾臂桿二（504）的中部活動連接有固定桿（505），所述固定桿（505）的底部固定連接有噴口管（502），所述夾臂桿二（504）的一端活動連接有噴口（506）。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述夾臂桿一（503）在噴口（506）閉合時與噴口管（502）形成30°夾角，所述噴口（506）此時內(nèi)側(cè)緊貼，呈閉合狀，所述傳動環(huán)（501）向空心伸縮桿（303）所在一側(cè)運動時，所述噴口管（502）與夾臂桿一（503）形成的夾角角度逐漸減小，直至夾臂桿一（503）與噴口管（502）平行，所述噴口（506）此時張開程度為最大值；所述夾臂桿二（504）的一端受夾臂桿一（503）影響，以固定桿（505）為支點，另一側(cè)反向上下運動，所述噴口（506）與夾臂桿二（504）另一側(cè)同步運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述傳動裝置（3）在沉銅槽體（101）外側(cè)側(cè)壁上共設(shè)有兩個，所述沉銅槽體（101）的外壁滑動連接有傳動齒條（304），所述傳動齒條（304）控制兩個自動噴口裝置（5）與一個水流監(jiān)測裝置（4），所述傳動齒條（304）向內(nèi)運動，由外向內(nèi)逐一關(guān)閉自動噴口裝置（5），所述傳動齒條（304）的底部固定連接有外側(cè)限位板（305），所述外側(cè)限位板（305）與外側(cè)空心傳動齒輪（302）接觸時，傳動齒條（304）內(nèi)側(cè)底部傳動內(nèi)側(cè)空心傳動齒輪（302）運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基板處理裝置，其特征在于：所述水流監(jiān)測裝置（4）對稱安裝在沉銅槽體（101）內(nèi)壁，所述扇葉傳動桿（404）中部貫穿且活動安裝在扇葉傳動孔（104）中，所述自動噴口裝置（5）共設(shè)有四處，對稱分布于沉銅槽體（101）內(nèi)部，所述噴嘴口傳動孔（102）的內(nèi)部貫穿且活動安裝有空心伸縮桿（303）中。