本發(fā)明涉及加工裝置，尤其涉及具備以光干涉方式進(jìn)行拍攝的拍攝單元的加工裝置。
背景技術(shù)：
1、作為利用裝配于高速旋轉(zhuǎn)的主軸的刀片（極薄外周刃）對(duì)工件進(jìn)行切削加工的加工裝置，已知有切割裝置（刀片切割器）。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，記載了在裝置內(nèi)具備白色干涉儀的切割裝置。根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的切割裝置，能夠使用白色干涉儀在裝置內(nèi)測(cè)定切槽（切口）的形狀等。
2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
3、專(zhuān)利文獻(xiàn)
4、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2021-084201號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的課題
2、在白色干涉儀等光干涉方式的形狀測(cè)定裝置中，通過(guò)拍攝所謂的干涉圖像而進(jìn)行測(cè)定。將從光源照射的光分割為二，將一方向參照面照射，將另一方向測(cè)定對(duì)象的表面照射，并利用圖像傳感器接受來(lái)自雙方的反射光，而拍攝干涉圖像。
3、當(dāng)利用光干涉方式的形狀測(cè)定裝置測(cè)定槽時(shí)，存在來(lái)自槽的內(nèi)部的反射光變得微弱，s/n比變小，而產(chǎn)生噪聲的誤識(shí)別的情況。另外，當(dāng)利用光干涉方式的形狀測(cè)定裝置測(cè)定槽時(shí)，存在由于槽的內(nèi)部中的反射光而產(chǎn)生虛假的干涉條紋的情況。該虛假的干涉條紋成為提取本來(lái)的形狀時(shí)的不穩(wěn)定因素、誤檢測(cè)因素。
4、本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，目的在于提供能夠精度良好地測(cè)定被加工了的工件的形狀的加工裝置。
5、用于解決課題的方案
6、為了解決上述課題，第一方案的加工裝置具備：工作臺(tái)，其在與z軸正交的保持面上保持工件；加工單元，其加工工作臺(tái)上的工件；拍攝單元，其以光干涉方式拍攝工件的表面；驅(qū)動(dòng)部，其使拍攝單元相對(duì)于工作臺(tái)沿著z軸的方向相對(duì)地移動(dòng)；以及拍攝控制部，其控制驅(qū)動(dòng)部以及拍攝單元，對(duì)工作臺(tái)上的工件的表面沿z軸的方向進(jìn)行掃描并拍攝，拍攝控制部在對(duì)工件的表面沿z軸的方向進(jìn)行掃描并拍攝時(shí)，按照針對(duì)每個(gè)所拍攝的部位確定的拍攝條件而拍攝。
7、第二方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝控制部以針對(duì)每個(gè)部位確定的光量照射照明光，并拍攝工件的表面。
8、第三方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝控制部以針對(duì)每個(gè)部位確定的設(shè)定進(jìn)行增益調(diào)整，并拍攝工件的表面。
9、第四方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝控制部以針對(duì)每個(gè)部位確定的設(shè)定控制曝光時(shí)間，并拍攝工件的表面。
10、第五方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝控制部以針對(duì)每個(gè)部位確定的設(shè)定進(jìn)行灰階修正，并拍攝工件的表面。
11、第六方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝控制部以針對(duì)每個(gè)部位確定的輸出范圍從各像素輸出像素值，并拍攝工件的表面。
12、第七方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，在拍攝在工件的表面加工得到的槽的情況下，分割為包括工件的表面的第一部位、包括槽的底面的第三部位以及第一部位與第三部位之間的第二部位，并針對(duì)每個(gè)分割出的部位確定拍攝條件。
13、第八方案的加工裝置在第一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，還具備處理對(duì)工件的表面沿z軸的方向進(jìn)行掃描并拍攝得到的圖像而測(cè)定工件的表面的形狀的圖像處理部。
14、第九方案的加工裝置在第一至第八中任一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，還具備：工件信息取得部，其取得包括工件的截面的形狀的信息的工件信息；以及拍攝條件設(shè)定部，其基于工件信息設(shè)定拍攝條件。
15、第十方案的加工裝置在第九方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，還具備基于工件的截面的形狀的信息設(shè)定圖像的輸出范圍的輸出范圍設(shè)定部，拍攝控制部從拍攝到的圖像提取并輸出由輸出范圍設(shè)定部設(shè)定的范圍的圖像。
16、第十一方案的加工裝置在第一至第八中任一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，還具備解析拍攝到的圖像而設(shè)定輸出范圍的輸出范圍設(shè)定部，拍攝控制部從拍攝到的圖像提取并輸出由輸出范圍設(shè)定部設(shè)定的范圍的圖像。
17、第十二方案的加工裝置在第十一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，輸出范圍設(shè)定部解析拍攝到的圖像而識(shí)別工件的界面，并將識(shí)別出的界面以及規(guī)定的范圍設(shè)定為輸出范圍。
18、第十三方案的加工裝置在第十二方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，在拍攝在工件的表面加工得到的槽的情況下，輸出范圍設(shè)定部識(shí)別工件的表面、槽的內(nèi)壁面以及槽的底面，并將包括識(shí)別出的各面的規(guī)定的范圍設(shè)定為輸出范圍。
19、第十四方案的加工裝置在第一至第八中任一方案的加工裝置的基礎(chǔ)上，拍攝單元以白色干涉方式拍攝工件的表面。
20、發(fā)明效果
21、根據(jù)本發(fā)明，能夠精度良好地測(cè)定被加工了的工件的形狀。
1.一種加工裝置，其中，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的加工裝置，其中，
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工裝置，其中，
11.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的加工裝置，其中，
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的加工裝置，其中，
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的加工裝置，其中，
14.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的加工裝置，其中，