本申請涉及靶材回收，特別涉及到一種含銦焊料的鋁靶的回收方法。
背景技術(shù)：
1、在半導(dǎo)體、平板顯示等行業(yè)中，鋁靶作為重要的濺射靶材被廣泛應(yīng)用。而在鋁靶的使用過程中通常與背板進(jìn)行綁定，背板材質(zhì)一般為銅合金、鋁合金等高強(qiáng)高導(dǎo)熱金屬，綁定工藝為焊接。鋁靶材與背板焊接時(shí)常使用焊劑，焊劑通常為銦、錫等。達(dá)到使用壽命的殘靶或報(bào)廢靶材中仍有大量高品質(zhì)、高附加值的高純金屬，因此靶材的回收利用對于降低靶材生產(chǎn)成本具有十分重要意義。
2、目前，傳統(tǒng)工藝在回收含銦焊料的鋁靶的方法中，通常采用恒流電解剝離含銦焊料和鋁靶，處理時(shí)間較久，且鋁基體腐蝕率較大。另一種采用機(jī)械剝離的方法，銦殘留量高達(dá)800ppm，遠(yuǎn)遠(yuǎn)無法滿足5n級高純鋁靶材對于雜質(zhì)含量的嚴(yán)格要求，后續(xù)需要額外的復(fù)雜工藝進(jìn)行深度除雜，增加了成本和工藝難度。
3、由此，現(xiàn)有技術(shù)仍有待改進(jìn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，本申請?zhí)峁┮环N含銦焊料的鋁靶的回收方法，該回收方法能夠有效降低含銦焊料的鋁靶中銦殘留量，且對鋁基體腐蝕率較低。
2、本申請解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：
3、本申請的一方面，提供一種含銦焊料的鋁靶的回收方法，包括如下步驟：
4、將含銦焊料的鋁靶進(jìn)行電解處理，制備含銦濾液和鋁基體；按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)計(jì)，所述電解處理所采用的電解液的制備原料包括如下組分：8％～15％硫酸溶液、3％～6％有機(jī)酸、0.1％～0.4％緩蝕劑以及78％～89％去離子水；
5、在所述電解處理的過程中進(jìn)行脈沖處理，使所述含銦焊料與所述鋁基體分離，回收所述鋁基體。
6、在其中一些實(shí)施例中，在將所述含銦焊料的鋁靶進(jìn)行所述電解處理的步驟之后，制備含銦濾液和鋁基體的步驟之前，還包括：在所述電解處理的電解液中加入鈍化劑對所述鋁靶進(jìn)行鈍化處理，得到鈍化后的鋁靶。
7、在其中一些實(shí)施例中，所述鈍化劑包括磷酸二氫鈉、磷酸二氫鉀和磷酸二氫銨中的至少一種；
8、和/或，以所述電解液的總質(zhì)量為基準(zhǔn)，所述鈍化劑的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.3％～0.6％；
9、和/或，所述有機(jī)酸包括氨基磺酸、甲基磺酸、苯磺酸和乙磺酸中的一種或多種；
10、和/或，所述緩蝕劑包括苯并三氮唑衍生物、鉬酸鈉、磷酸鈉和硝酸鈉中的一種或多種；
11、和/或，所述電解液的ph為1.8～2.5。
12、在其中一些實(shí)施例中，所述脈沖處理過程中，電流密度為100ma/cm2～280ma/cm2，每分鐘遞增4ma/cm2～12ma/cm2；
13、和/或，所述脈沖處理的時(shí)間為15min～45min。
14、在其中一些實(shí)施例中，所述脈沖處理包括低頻脈沖處理和高頻脈沖處理中的一種或多種，其中，所述低頻脈沖處理的頻率為30hz～70hz，所述高頻脈沖處理的頻率為800hz～1200hz；
15、當(dāng)所述脈沖處理包括低頻脈沖處理和高頻脈沖處理時(shí)，所述低頻脈沖處理和所述高頻脈沖處理交替進(jìn)行。
16、在其中一些實(shí)施例中，所述脈沖處理包括高頻脈沖處理和低頻脈沖處理，所述脈沖處理中第一次進(jìn)行的是高頻脈沖處理，所述脈沖處理的時(shí)序控制為先高頻連續(xù)處理6s～10s后疊加低頻脈沖處理1s～3s。
17、在其中一些實(shí)施例中，所述回收方法還包括從所述含銦濾液中回收銦元素的步驟，包括如下步驟：
18、向所述含銦濾液中加入置換液進(jìn)行置換反應(yīng)，固液分離，回收銦元素，所述置換液包括還原劑，所述還原劑包括抗壞血酸。
19、在其中一些實(shí)施例中，以所述置換液的質(zhì)量為基準(zhǔn)，所述抗壞血酸的濃度為1mol/l～2mol/l；
20、和/或，所述置換液還包括絡(luò)合劑，所述絡(luò)合劑包括硫脲；
21、可選地，以所述置換液的質(zhì)量為基準(zhǔn)，所述硫脲的濃度為0.5mol/l～1.5mol/l；
22、和/或，所述置換液的ph為1.5～2.0；
23、和/或，所述置換反應(yīng)的溫度為55℃～65℃。
24、在其中一些實(shí)施例中，所述回收方法還包括如下步驟：對所述固液分離后的濾液依次進(jìn)行吸附處理和電化學(xué)處理。
25、在其中一些實(shí)施例中，所述吸附處理包括采用離子交換樹脂進(jìn)行。
26、上述含銦焊料的鋁靶的回收方法，一方面，將含銦焊料的鋁靶進(jìn)行電解處理，并通過控制電解液的制備原料的組分及配比，硫酸與有機(jī)酸以協(xié)同作用加速銦氧化，同時(shí)添加緩蝕劑以在鋁基體表面形成緩蝕層，從而減少酸溶液對鋁基體的腐蝕；另一方面，在電解處理的過程中進(jìn)行脈沖處理，可以剝離表面疏松銦層，穿透銦層并抑制鋁晶界腐蝕，使殘余含銦焊料從鋁基體中剝離出來。如此，能夠有效降低含銦焊料的鋁靶中銦殘留量，且對鋁基體腐蝕率較低，提高鋁材回收率。
1.一種含銦焊料的鋁靶的回收方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.如權(quán)利要求1所述的回收方法，其特征在于，在將所述含銦焊料的鋁靶進(jìn)行所述電解處理的步驟之后，制備含銦濾液和鋁基體的步驟之前，還包括：在所述電解處理的電解液中加入鈍化劑對所述鋁靶進(jìn)行鈍化處理，得到鈍化后的鋁靶。
3.如權(quán)利要求2所述的回收方法，其特征在于，所述鈍化劑包括磷酸二氫鈉、磷酸二氫鉀和磷酸二氫銨中的至少一種；
4.如權(quán)利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述脈沖處理過程中，電流密度為100ma/cm2～280ma/cm2，每分鐘遞增4ma/cm2～12ma/cm2；
5.如權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的回收方法，其特征在于，所述脈沖處理包括低頻脈沖處理和高頻脈沖處理中的一種或多種，其中，所述低頻脈沖處理的頻率為30hz～70hz，所述高頻脈沖處理的頻率為800hz～1200hz；
6.如權(quán)利要求5所述的回收方法，其特征在于，所述脈沖處理包括低頻脈沖處理和高頻脈沖處理，所述脈沖處理中第一次進(jìn)行的是高頻脈沖處理，所述脈沖處理的時(shí)序控制為先高頻連續(xù)處理6s～10s后疊加低頻脈沖處理1s～3s。
7.如權(quán)利要求1～4以及6任一項(xiàng)所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法還包括從所述含銦濾液中回收銦元素，包括如下步驟：
8.如權(quán)利要求7所述的回收方法，其特征在于，以所述置換液的質(zhì)量為基準(zhǔn)，所述抗壞血酸的濃度為1mol/l～2mol/l；
9.如權(quán)利要求7任一項(xiàng)所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法還包括如下步驟：對固液分離后的濾液依次進(jìn)行吸附處理和電化學(xué)處理。
10.如權(quán)利要求9所述的回收方法，其特征在于，所述吸附處理包括采用離子交換樹脂進(jìn)行。