本發(fā)明涉及一種直接接合機(jī)，更具體地，涉及一種通過(guò)利用隔膜的膨脹來(lái)逐漸地將接合對(duì)象與工作板分離開(kāi)或者擠壓接合對(duì)象的直接接合機(jī)。
背景技術(shù)：
：：近年來(lái)，觸摸面板作為輸入設(shè)備被安裝在智能電話、平板電腦終端(tabletterminal)等上，可以將諸如文本信息和圖形信息的信息輸入至該輸入設(shè)備。另外，在觸摸面板的顯示表面上安裝有諸如平板顯示器的圖像顯示設(shè)備，該平板顯示器例如是液晶顯示(lcd)器、等離子顯示面板(pdp)和有機(jī)電致發(fā)光顯示器(oeld)。另外，使用者通過(guò)觸摸觸摸面板來(lái)使用觸摸面板，以便在觀看圖像顯示設(shè)備的同時(shí)選擇信息。另外，智能電話、平板電腦終端等在各種不同的戶內(nèi)和戶外環(huán)境下被使用，因此，需要改善智能電話、平板電腦終端等的可視性，從而使得使用者即使在戶外在陽(yáng)光下也能容易地使用智能電話、平板電腦終端等。另外，為了改善可視性，廣泛使用一種將觸摸面板的整個(gè)表面與顯示設(shè)備的整個(gè)表面相連接的直接接合方法，來(lái)代替僅將觸摸面板的端部部分與顯示設(shè)備的端部部分相連接的氣隙接合方法。更具體地，直接接合方法將光學(xué)透明樹(shù)脂(ocr)置于觸摸面板與液晶顯示器之間，并在防止氣泡留存的同時(shí)將觸摸面板與液晶顯示器相聯(lián)接，所述光學(xué)透明樹(shù)脂是一種光透膠粘劑層。相關(guān)技術(shù)中的直接接合方法可以被實(shí)施成多種不同的方法，但是，在真空抽吸方法的情況下，被施加真空的部位受到沾污，從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化。另外，在使用esc托臺(tái)的情況下，被放置接合對(duì)象的托臺(tái)的抽吸力不高，其結(jié)果使得保護(hù)膜不易被分離。另外，在使用具有抽吸力的托臺(tái)的情況下，擠壓銷釘被用來(lái)將接合對(duì)象與托臺(tái)分離開(kāi)，從而使得接合對(duì)象被擠壓銷釘所沾污，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化。另外，在當(dāng)接合工藝期間擠壓接合對(duì)象時(shí)失去了擠壓構(gòu)件與接合對(duì)象之間的平衡的情況下，在產(chǎn)品上產(chǎn)生缺陷，并且需要安裝用于調(diào)整所述平衡的分離裝置。另外，在將具有平面形狀的接合對(duì)象與具有三維形狀的接合對(duì)象接合的工藝的情況下，需要提供單獨(dú)的設(shè)施，并且需要在接合對(duì)象上分別進(jìn)行單獨(dú)的接合工藝，其結(jié)果使得存在由于設(shè)備投資而導(dǎo)致成本高的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明致力于解決相關(guān)技術(shù)中的上述問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種能夠?qū)⒔雍蠈?duì)象與托臺(tái)分離開(kāi)來(lái)而不損壞接合對(duì)象并且能夠容易地卸載接合對(duì)象的直接接合機(jī)。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種即使在接合工藝期間未保持在擠壓構(gòu)件與接合對(duì)象之間的平衡的情況下也能夠以恒定的壓力擠壓接合對(duì)象的直接接合機(jī)。本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種無(wú)論接合對(duì)象的形狀如何都能夠?qū)⒔雍蠈?duì)象相聯(lián)接的直接接合機(jī)。本發(fā)明的示例性實(shí)施例提供了一種直接接合機(jī)，包括：托臺(tái)，其具有流動(dòng)路徑和工作圖案孔，從外部供給的工作流體沿著所述流動(dòng)路徑流動(dòng)，所述工作圖案孔與流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)；以及隔膜，所述隔膜聯(lián)接至所述托臺(tái)，從而遮蓋所述托臺(tái)的工作圖案孔，其中，所述隔膜的至少一部分由膠粘劑材料制成，并且當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體通過(guò)流動(dòng)路徑被引入工作圖案孔中時(shí)，面向所述工作圖案孔的所述隔膜發(fā)生膨脹。另外，在該直接接合機(jī)中，所述隔膜的一個(gè)表面可以抵靠所述托臺(tái)，而接合對(duì)象可以被放置在所述隔膜的另一個(gè)表面上。另外，在該直接接合機(jī)中，接合對(duì)象可以包括抵靠所述隔膜的第一接合對(duì)象和疊放在所述第一接合對(duì)象上的第二接合對(duì)象，所述第一接合對(duì)象可以是光學(xué)透明膠粘劑(oca)或聚合物有機(jī)發(fā)光二極管(poled)，而所述第二接合對(duì)象可以是防護(hù)玻璃或板組件。另外，在該直接接合機(jī)中，所述隔膜可以由根據(jù)膠粘劑和密封膠委員會(huì)(asc)的材料制成。另外，該直接接合機(jī)還可以包括：空氣供給單元，其將工作流體供給至所述托臺(tái)的流動(dòng)路徑；供給單元本體，其將接合對(duì)象供給至所述隔膜或者擠壓所述接合對(duì)象；以及驅(qū)動(dòng)組件，其使所述供給單元本體移動(dòng)。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例提供了一種直接接合機(jī)，包括：托臺(tái)，其具有流動(dòng)路徑和工作圖案孔，從外部供給的工作流體沿著所述流動(dòng)路徑流動(dòng)，所述工作圖案孔與流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)；隔膜，其聯(lián)接至所述托臺(tái)，從而遮蓋所述托臺(tái)的工作圖案孔；以及工作單元本體，其定位成面向所述隔膜，并且在所述工作單元本體上放置有接合對(duì)象，其中，當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體通過(guò)流動(dòng)路徑被引入所述工作圖案孔中時(shí)，面向所述工作圖案孔的所述隔膜發(fā)生膨脹，并且位于所述工作單元本體上的接合對(duì)象受到擠壓。另外，該直接接合機(jī)還可以包括空氣供給單元，其將空氣供給至所述托臺(tái)的流動(dòng)路徑，其中，空氣供給單元包括空氣泵和供給管路，而供給管路連接至所述流動(dòng)路徑。另外，在該直接接合機(jī)中，工作單元本體可以包括流動(dòng)路徑、托臺(tái)和隔膜，從外部供給的工作流體沿著所述流動(dòng)路徑流動(dòng)，托臺(tái)具有工作圖案孔，所述工作圖案孔與流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)，所述隔膜聯(lián)接至所述托臺(tái)以便遮蓋托臺(tái)的工作圖案孔，并且所述隔膜的至少一部分可以由膠粘劑材料制成。本發(fā)明的又一個(gè)示例性實(shí)施例提供了一種直接接合機(jī)，包括：第一隔膜單元，其包括第一流動(dòng)路徑、第一托臺(tái)和第一隔膜，從外部供給的工作流體沿著所述第一流動(dòng)路徑流動(dòng)，第一托臺(tái)具有第一工作圖案孔，所述第一工作圖案孔與第一流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)，所述第一隔膜聯(lián)接至所述第一托臺(tái)以便遮蓋第一托臺(tái)的第一工作圖案孔；以及第二隔膜單元，其包括第二流動(dòng)路徑、第二托臺(tái)和第二隔膜，從外部供給的工作流體沿著所述第二流動(dòng)路徑流動(dòng)，第二具有第二工作圖案孔，所述第二工作圖案孔與第二流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)，所述第二隔膜聯(lián)接至所述第二托臺(tái)以便遮蓋第二托臺(tái)的第二工作圖案孔，其中，第一隔膜和第二隔膜相互面對(duì)，第一接合對(duì)象放置在第一隔膜上，第二接合對(duì)象疊放在第一接合對(duì)象上，并且當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體通過(guò)第一流動(dòng)路徑被供給至第一工作圖案孔時(shí)，第一隔膜發(fā)生膨脹，而第一接合對(duì)象靠著第二接合對(duì)象受到擠壓。另外，在該直接接合機(jī)中，第二接合對(duì)象可以形成為具有三維形狀，并且當(dāng)?shù)谝桓裟卧母裟ぐl(fā)生膨脹時(shí)，第一接合對(duì)象可以受到擠壓以與第二接合對(duì)象的三維形狀相對(duì)應(yīng)。另外，在該直接接合機(jī)中，當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體通過(guò)第二流動(dòng)路徑被供給至第二工作圖案孔時(shí)，第二隔膜可以發(fā)生膨脹，而第二接合對(duì)象可以靠著第一接合對(duì)象受到擠壓。另外，在該直接接合機(jī)中，第一隔膜的至少一部分可以由膠粘劑材料制成。這些示例性實(shí)施例的其它細(xì)節(jié)方面包含在詳細(xì)描述和附圖中。根據(jù)本發(fā)明的直接接合機(jī)，接合對(duì)象的局部區(qū)域受到緩慢膨脹的隔膜的擠壓，從而使接合對(duì)象與托臺(tái)分離開(kāi)來(lái)而不會(huì)受到損壞，并且接合對(duì)象容易地被卸載，其結(jié)果使得缺陷率被顯著降低，并且可以獲得高質(zhì)量的產(chǎn)品。另外，由于接合對(duì)象受到膨脹的隔膜的擠壓，因而即使在不能保持隔膜與接合對(duì)象之間的平衡的情況下，也可以使接合對(duì)象受到恒定壓力的擠壓，從而不需要用于保持平衡的單獨(dú)的裝置，并且不需要在單獨(dú)的裝置上實(shí)施維護(hù)，其結(jié)果降低了制造成本、降低了缺陷率并且由此提高了生產(chǎn)率。另外，由于可以使用單個(gè)設(shè)備在具有板狀形狀和三維形狀的接合對(duì)象上實(shí)施接合工藝，因此降低了制造成本，減少了維護(hù)所需的時(shí)間和成本，并且因此提高了生產(chǎn)率。將清楚地理解的是，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)的示例性實(shí)施例可以提供未被明確提及的各種效果。附圖說(shuō)明圖1是用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的直接接合機(jī)的技術(shù)實(shí)質(zhì)的示意性的配置圖，其中，圖1a是配置圖，而圖1b是使用狀態(tài)圖。圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的一些組成元件的配置圖，其中，圖2a是透視圖，而圖2b是沿著圖2a中的線a-a截取的剖視圖。圖3是圖2所示的直接接合機(jī)的示意性的使用狀態(tài)圖。圖4至圖6是示意性地示出了根據(jù)圖2所示的直接接合機(jī)的第一至第三示例性實(shí)施例的工作圖案孔(workingpatternhole)的配置圖。圖7是根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。圖8是根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。圖9是根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。圖10是圖9所示的直接接合機(jī)的第一使用狀態(tài)圖。圖11是圖9所示的直接接合機(jī)的第二使用狀態(tài)圖。具體實(shí)施方式參照下面結(jié)合附圖詳細(xì)描述的示例性實(shí)施例，本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)以及獲得這些優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)的方法將變得明顯。但是，本發(fā)明并不局限于下面將要描述的示例性實(shí)施例，并且可以具體化為其它方面。提供本文介紹的示例性實(shí)施例是為了使公開(kāi)內(nèi)容詳盡和完整，并向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分地傳達(dá)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)。本申請(qǐng)中使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述具體的示例性實(shí)施例，并非旨在限制本發(fā)明。本文使用的單數(shù)表達(dá)包括復(fù)數(shù)表達(dá)，除非其在上下文中具有明確相反的含義。在本申請(qǐng)中，應(yīng)理解的是，術(shù)語(yǔ)“包括”和“具有”旨在表示存在說(shuō)明書(shū)中所描述的特征、數(shù)量、步驟、操作、組成元件和部件或其組合，而不排除事先存在或附加有一個(gè)或多個(gè)其它特征、數(shù)量、步驟、操作、組成元件和部件或其組合的可能性。包括技術(shù)或科技術(shù)語(yǔ)在內(nèi)，本文使用的所有術(shù)語(yǔ)都具有與本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
：的技術(shù)人員通常理解的含義相同的含義，除非有不同的定義。在通用詞典中所定義的術(shù)語(yǔ)應(yīng)被理解成，其具有與相關(guān)技術(shù)環(huán)境中的含義相匹配的含義，并且不應(yīng)被理解成理想化或過(guò)于形式化的含義，除非在本申請(qǐng)中有明確的定義。下面將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。圖1是用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的直接接合機(jī)的技術(shù)實(shí)質(zhì)的示意性的配置圖，其中，圖1a是配置圖，而圖1b是使用狀態(tài)圖。如圖所示，直接接合機(jī)100包括托臺(tái)110和隔膜120。另外，隔膜120聯(lián)接至托臺(tái)110，從而覆蓋托臺(tái)110。更具體地，托臺(tái)110具有相互連通的流動(dòng)路徑111和工作圖案孔112。另外，流動(dòng)路徑111用于允許從外部引入的空氣流入工作圖案孔112中，由此使面向工作圖案孔112的隔膜120發(fā)生膨脹和恢復(fù)。另外，工作圖案孔112暴露至托臺(tái)110外側(cè)。因此，工作圖案孔112的一側(cè)連接至流動(dòng)路徑111，而工作圖案孔112的另一側(cè)抵靠隔膜120。也即是說(shuō)，隔膜120聯(lián)接至托臺(tái)110，從而覆蓋托臺(tái)110的形成有工作圖案孔112的一側(cè)。另外，根據(jù)工作圖案孔112的用途，工作圖案孔112可以形成為各種不同的構(gòu)型。根據(jù)上述配置，如圖1b所示，當(dāng)向流動(dòng)路徑111中引入工作流體并且將處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體供入工作圖案孔112中時(shí)，面向工作圖案孔112的隔膜120發(fā)生膨脹。另外，當(dāng)通過(guò)流動(dòng)路徑111引入的工作流體被排出時(shí)，膨脹的隔膜120恢復(fù)到初始狀態(tài)。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的直接接合機(jī)100使用了供給工作流體從而使隔膜120膨脹的技術(shù)特征。也即是說(shuō)，在接合工藝之后將使隔膜120膨脹的技術(shù)特征應(yīng)用于使產(chǎn)品分離的過(guò)程的情況下，有可能將放置在隔膜120上的接合對(duì)象與托臺(tái)110分離開(kāi)來(lái)，而不損壞接合對(duì)象。另外，在將使隔膜120膨脹的技術(shù)特征應(yīng)用于接合工藝中的擠壓過(guò)程的情況下，有可能以恒定的壓力擠壓接合對(duì)象，而無(wú)論接合對(duì)象的形狀如何。圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的一些組成元件的配置圖，其中，圖2a是透視圖，而圖2b是沿著圖2a中的線a-a截取的剖視圖。如圖所示，直接接合機(jī)包括托臺(tái)1100和隔膜1200。另外，隔膜1200聯(lián)接成覆蓋托臺(tái)1100的至少一側(cè)。更具體地，托臺(tái)1100具有相互連通的流動(dòng)路徑1110和工作圖案孔1120。另外，流動(dòng)路徑1110用于向工作圖案孔1120提供從外部引入的工作流體。另外，工作圖案孔1120連接至流動(dòng)路徑1110的端部部分，并暴露至托臺(tái)1100的外側(cè)。另外，工作圖案孔1120用于向隔膜1200提供通過(guò)流動(dòng)路徑1110引入的工作流體，從而使隔膜1200的局部區(qū)域發(fā)生膨脹和恢復(fù)。為此目的，隔膜1200聯(lián)接至托臺(tái)1100，從而覆蓋托臺(tái)的形成有工作圖案孔1120的一側(cè)。也即是說(shuō)，當(dāng)將處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的工作流體供入工作圖案孔1120中時(shí)，面向工作圖案孔1120的隔膜1200發(fā)生膨脹。另外，當(dāng)工作流體被排出工作圖案孔1120時(shí)，膨脹的隔膜1200恢復(fù)到初始狀態(tài)。另外，如圖4至圖6所示，工作圖案孔1120可以根據(jù)接合對(duì)象而以各種不同的方式被實(shí)施，下面將描述工作圖案孔1120。另外，隔膜1200可以由根據(jù)膠粘劑和密封膠委員會(huì)(asc)的膠粘劑材料制成。另外，膠粘劑層可以形成在隔膜1200的上表面上。也即是說(shuō)，為了將接合工藝中放置在隔膜1200上的接合對(duì)象上的保護(hù)膜分離出來(lái)，隔膜1200可以由膠粘劑材料制成，或者在隔膜1200的放置有接合對(duì)象的一個(gè)表面上可以形成有膠粘劑部分。圖3是圖2所示的隔膜的示意性的使用狀態(tài)圖，其中，圖3a示出了隔膜膨脹之前的狀態(tài)，而圖3b示出了隔膜膨脹后的狀態(tài)。如圖3a所示，執(zhí)行接合工藝的第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20疊放在隔膜1200上。另外，第一接合對(duì)象10可以由柔性材料例如光學(xué)透明膠粘劑(oca)或聚合物有機(jī)發(fā)光二極管(poled)制成，并且第一接合對(duì)象10放置在隔膜1200上。另外，第二接合對(duì)象20可以是要被接合和聯(lián)接至第一接合對(duì)象10的防護(hù)玻璃或板組件，并且第二接合對(duì)象20疊放在第一接合對(duì)象10上。另外，隔膜1200由膠粘劑材料制成。也即是說(shuō)，在將直接接合機(jī)應(yīng)用于制造用于保護(hù)液晶顯示器的鋼化玻璃的過(guò)程的情況下，第一接合對(duì)象10是oca，而第二接合對(duì)象20是防護(hù)玻璃。另外，在將直接接合機(jī)1000應(yīng)用于制造顯示器的過(guò)程的情況下，第一接合對(duì)象10可以是oca，而第二接合對(duì)象20可以是觸屏面板(tsp)或液晶顯示器(lcd)。另外，由于隔膜1200由如上所述的膠粘劑材料制成，因此，作為第一接合對(duì)象10的oca放置在隔膜1200上，并且用于oca的保護(hù)膜可以容易地被去除。接下來(lái)，圖3b示出了在接合工藝完成后將第一接合對(duì)象10與隔膜1200分離開(kāi)的過(guò)程。更具體地，當(dāng)通過(guò)流動(dòng)路徑1110從托臺(tái)1100外部引入工作流體時(shí)，工作流體流入工作圖案孔1120中。另外，當(dāng)工作流體被連續(xù)地引入流動(dòng)路徑1110中且工作圖案孔1120處于工作流體飽和的狀態(tài)時(shí)，壓力被集中于面向工作圖案孔1120的隔膜1200處，從而使得隔膜1200發(fā)生膨脹。另外，放置在隔膜1200上的第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20緩慢地與隔膜1200分離開(kāi)來(lái)。也即是說(shuō)，在隔膜1200的膨脹過(guò)程期間，隔膜1200與第一接合對(duì)象10之間的接觸面積連續(xù)地減小，所述接觸面積是由于隔膜1200的粘著力而附著于隔膜的。另外，第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20處于容易與隔膜1200分離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)。另外，由于隔膜1200緩慢地隆起，因此，防止了在將接合對(duì)象與隔膜相分離時(shí)可能發(fā)生的對(duì)于接合對(duì)象的損壞。圖4至圖6是示意性地示出了根據(jù)圖2所示的直接接合機(jī)的第一至第三示例性實(shí)施例的工作圖案孔的配置圖。如圖所示，圖4示出了形成為多納圈(doughnut)形狀的工作圖案孔。更具體地，工作圖案孔1120a包括第一多納圈部分1121a和第二多納圈部分1122a，此外，第一多納圈部分1121a和第二多納圈部分1122a是同心的，并且第一多納圈部分1121a定位在第二多納圈部門(mén)1122a的外圓周部分上。接下來(lái)，圖5示出了四邊形的工作圖案孔。更具體地，工作圖案孔1120b形成為四邊形形狀，并且布置有多個(gè)工作圖案孔1120b。接下來(lái)，圖6示出了多個(gè)圓形的工作圖案孔。更具體地，工作圖案孔1120c形成為圓形形狀，并且布置有多個(gè)工作圖案孔1120c。圖7是根據(jù)包括圖2所示隔膜的第一示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。直接接合機(jī)1000包括托臺(tái)1100、隔膜1200、空氣供給單元1300、供給單元本體1400和驅(qū)動(dòng)單元組件1500。更具體地，托臺(tái)1100和隔膜1200與圖2所示的托臺(tái)1100和隔膜1200相同。另外，空氣供給單元1300用于向托臺(tái)1100供給作為工作流體的空氣，并且包括空氣泵1310和供給管路1320。另外，供給管路1320連接至托臺(tái)1100的流動(dòng)路徑(由圖3中的1110表示)。另外，供給單元本體1400通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元組件1500而上下運(yùn)動(dòng)，并用于供給接合對(duì)象或擠壓放置在隔膜1200的上部上的接合對(duì)象(未示出)。利用上述配置，當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的空氣通過(guò)托臺(tái)1100的流動(dòng)路徑(由圖3中的1110表示)被供入工作圖案孔(由圖3中的1120表示)中時(shí)，隔膜1200發(fā)生膨脹。圖8是根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。如圖所示，直接接合機(jī)2000包括托臺(tái)2100、隔膜2200、空氣供給單元2300和工作單元本體2400。更具體地，托臺(tái)2100和隔膜2200與圖1所示的托臺(tái)110和隔膜120相同。也即是說(shuō)，當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的空氣通過(guò)托臺(tái)2100的流動(dòng)路徑(由圖1中的111表示)被供入工作圖案孔(由圖1中的112表示)中時(shí)，隔膜2200發(fā)生膨脹。另外，空氣供給單元2300用于向托臺(tái)2100供給空氣，并且包括空氣泵2310和供給管路2320。另外，工作單元本體2400用于支承接合對(duì)象，并且工作單元本體2400定位成面向隔膜2100。利用上述配置，作為接合對(duì)象的第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20被放置在工作單元本體2400上。另外，借助于使用空氣供給單元2300，通過(guò)托臺(tái)2100的流動(dòng)路徑(由圖1中的111表示)將空氣引入工作圖案孔(由圖1中的112表示)。另外，當(dāng)處于飽和或過(guò)飽和狀態(tài)的空氣被供給時(shí)，隔膜2200發(fā)生膨脹，并且膨脹的隔膜2200擠壓第二接合對(duì)象20。因此，直接接合機(jī)2000僅通過(guò)引入空氣而不包括單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)單元模塊便可以均勻地?cái)D壓接合對(duì)象，并且通過(guò)改變空氣壓力而容易地調(diào)整擠壓量。另外，即使在工作過(guò)程中期間不能保持接合對(duì)象10和20與隔膜2200之間的平衡而發(fā)生偏離，也能使隔膜2200緩慢地膨脹，并且因此使接合對(duì)象均勻地被擠壓。另外，直接接合機(jī)2000的工作單元本體2400可以具有介于圖3所示的托臺(tái)1100與隔膜1200之間的聯(lián)接結(jié)構(gòu)。在該情況下，在使用隔膜2200的膨脹來(lái)擠壓接合對(duì)象10和20的過(guò)程完成之后，將空氣引入托臺(tái)中，使得第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20被定位成能夠容易地將第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20與隔膜(由圖3中的1200表示)分離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)，如圖3b所示。圖9是根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實(shí)施例的直接接合機(jī)的示意性的配置圖。如圖所示，直接接合機(jī)3000包括第一隔膜單元3100、第二隔膜單元3200和空氣供給單元3300。更具體地，第一隔膜單元3100具有聯(lián)接結(jié)構(gòu)，該聯(lián)接結(jié)構(gòu)與圖1所示的隔膜120和托臺(tái)110之間的聯(lián)接結(jié)構(gòu)相同；并且第二隔膜單元3200具有聯(lián)接結(jié)構(gòu)，該聯(lián)接結(jié)構(gòu)與圖1所示的隔膜120和托臺(tái)110之間的聯(lián)接結(jié)構(gòu)相同，或者與圖2所示的隔膜1200和托臺(tái)1100之間的聯(lián)接結(jié)構(gòu)相同。也即是說(shuō)，第一隔膜單元包括第一流動(dòng)路徑(由圖1中的111表示)、第一托臺(tái)(由圖1中的110表示)和第一隔膜(由圖1中的120表示)，從外部供給的工作流體沿著所述第一流動(dòng)路徑流動(dòng)，第一托臺(tái)具有第一工作圖案孔(由圖1中的112表示)，所述第一工作圖案孔與第一流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)，所述第一隔膜聯(lián)接至第一托臺(tái)以遮蓋第一托臺(tái)的第一工作圖案孔。另外，第二隔膜單元3200包括第二流動(dòng)路徑、第二托臺(tái)和第二隔膜，從外部供給的工作流體沿著所述第二流動(dòng)路徑流動(dòng)，第二托臺(tái)具有第二工作圖案孔，所述第二工作圖案孔與第二流動(dòng)路徑連通且暴露至外側(cè)，第二隔膜聯(lián)接至第二托臺(tái)以遮蓋第二托臺(tái)的第二工作圖案孔。另外，根據(jù)接合對(duì)象被疊放的方向，第一隔膜單元3100用于從接合對(duì)象的下側(cè)支承接合對(duì)象，而第二隔膜單元3200用于從接合對(duì)象的上側(cè)擠壓接合對(duì)象。因此，在接合工藝期間，直接接合機(jī)3000可以通過(guò)使用第二隔膜單元3200來(lái)擠壓接合對(duì)象，并且可以通過(guò)使用第一隔膜單元3100來(lái)分離接合對(duì)象，或者直接接合具有三維形狀的接合對(duì)象。下面將結(jié)合圖10和圖11更詳細(xì)地描述該配置。圖10是圖9所示的直接接合機(jī)的第一使用狀態(tài)圖。如圖10a所示，第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20疊放在第一隔膜單元3100上。另外，第二隔膜單元3200的第二隔膜發(fā)生膨脹并擠壓第二接合對(duì)象20。接下來(lái)，如圖10b所示，第一隔膜單元3100的第一隔膜(由圖3中的1200表示)發(fā)生膨脹，使得接合對(duì)象10和20被定位成能夠容易地將接合對(duì)象10和20與隔膜單元3100分離開(kāi)的狀態(tài)。圖11是圖9所示的直接接合機(jī)的第二使用狀態(tài)圖。如圖所示，直接接合機(jī)3000執(zhí)行將第一接合對(duì)象10聯(lián)接至具有三維形狀的第二接合對(duì)象20的過(guò)程。更具體地，如圖11a所示，第一接合對(duì)象10放置在第一隔膜單元3100上。另外，如圖11b所示，具有三維形狀的第二接合對(duì)象20被疊放在第一接合對(duì)象10的上部上。也即是說(shuō)，三維形狀是指一種形狀，其并非完全形成為平板形狀，而是具有至少局部彎曲形狀。另外，空氣被供給至第一隔膜單元3100，并由此使第一隔膜(由圖1中的120表示)發(fā)生膨脹。因此，第一接合對(duì)象10被第一隔膜單元3100擠壓，并由此被聯(lián)接至具有三維形狀的第二接合對(duì)象20。接下來(lái)，如圖11c所示，空氣被供給至第二隔膜單元3200，并由此擠壓第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20。另外，如圖11d所示，當(dāng)?shù)谝桓裟卧?100和第二隔膜單元3200回復(fù)至初始狀態(tài)時(shí)，完成在第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20上的接合工藝，并且第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20處于可以將第一接合對(duì)象10和第二接合對(duì)象20卸載的狀態(tài)。盡管已經(jīng)參照附圖描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，但是，本領(lǐng)域技術(shù)人員將能理解的是，在不改變本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)或?qū)嵸|(zhì)性特征的情況下，可以任何其它具體方式實(shí)施本發(fā)明。因此，應(yīng)理解的是，在各種意義上，上述示例性實(shí)施例意在為說(shuō)明性的，而非限制性的。當(dāng)前第1頁(yè)12當(dāng)前第1頁(yè)12