本申請涉及光伏領(lǐng)域，特別涉及一種顯影方法及裝置。
背景技術(shù)：
1、顯影工藝是太陽能電池片(以下簡稱電池片)生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵步驟。在電池片的柵線的制備工藝中，需要先在電池片基底上涂布感光膠，進(jìn)而利用曝光工藝將電池片基底上涂布的部分感光膠曝光以形成曝光區(qū)，再通過顯影工藝將曝光區(qū)或者非曝光區(qū)中的感光膠去除，以獲得后續(xù)用于電鍍制備柵線所需的開口。
2、然而，現(xiàn)有的顯影工藝無法有效地去除曝光區(qū)或者非曝光區(qū)中的感光膠，導(dǎo)致開口中殘留部分感光膠，影響后續(xù)電鍍制備柵線，進(jìn)而導(dǎo)致電池片的良品率降低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請的目的在于提供一種顯影方法及裝置，通過含有碳酸鈉的藥液和微泡共同形成的顯影液處理電池片前驅(qū)體，以有效去除感光膠；利用礦物液體和微泡共同形成的清洗液對顯影液處理后的第一處理片進(jìn)行處理，以去除開口中殘留的感光膠。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請?zhí)峁┮环N顯影方法，包括：利用顯影液處理電池片前驅(qū)體，形成第一處理片；利用清洗液處理第一處理片，形成第二處理片；其中，所述顯影液包括藥液和微泡，所述藥液為堿性溶液，所述清洗液包括礦物液體和微泡，所述礦物液體中含有鈣離子或鎂離子或鈣鎂離子。涂布感光膠的電池片基底經(jīng)過曝光工藝之后的半成品電池片稱為電池片前驅(qū)體。電池片基底為具有透明導(dǎo)電層或者種子層的半成品電池片。
3、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述藥液中含有碳酸鈉、碳酸鉀、tmah或tbah中的至少一種。
4、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述藥液中含有碳酸鈉，所述碳酸鈉的濃度為0.05％-2％。
5、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述利用顯影液處理電池片前驅(qū)體的方法包括：利用噴頭對電池片前驅(qū)體的表面噴灑顯影液，或利用顯影液浸泡電池片前驅(qū)體，或利用顯影液浸泡電池片前驅(qū)體時(shí)，噴頭對電池片前驅(qū)體的表面噴灑顯影液。
6、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：當(dāng)所述顯影方法包括利用顯影液浸泡電池片前驅(qū)體，將電池片前驅(qū)體浸泡于10-45℃所述顯影液中0.5-4min；
7、當(dāng)所述顯影方法包括利用噴頭對電池片前驅(qū)體的表面噴灑顯影液，所述噴頭的噴壓為0.5-3kg/cm2，噴灑角度為50-90°，液滴直徑為5-500μm，優(yōu)選為液滴直徑為20-280μm。
8、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述礦物液體中含有預(yù)設(shè)濃度的鈣離子和/或預(yù)設(shè)濃度的鎂離子，所述預(yù)設(shè)濃度≤300mg/l。
9、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述利用清洗液處理第一處理片的方法包括：利用噴頭對所述第一處理片表面噴灑清洗液，或利用清洗液浸泡所述第一處理片，或利用清洗液浸泡所述第一處理片時(shí)，噴頭對所述第一處理片表面噴灑清洗液。
10、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：當(dāng)所述顯影方法包括利用清洗液浸泡所述第一處理片，將所述第一處理片浸泡于所述清洗液中0.5-3min。
11、當(dāng)所述顯影方法包括利用噴頭對所述第一處理片表面噴灑清洗液，所述噴頭的噴壓為0.5-3kg/cm2，噴灑角度為50-90°，液滴直徑為5-500μm，優(yōu)選為液滴直徑為20-280μm。
12、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述顯影液中的微泡采用向所述藥液中通入氣體，并對氣液混合物加壓的方式形成；
13、和/或，所述清洗液中的微泡采用向所述礦物液體中通入氣體，并對氣液混合物加壓的方式形成。
14、另一方面，本申請還提供一種顯影裝置，使用前述的顯影方法，包括顯影槽、清洗槽、顯影液制備組件、清洗液制備組件和傳輸組件；其中，所述顯影液制備組件用于制備顯影液，并將顯影液輸送至所述顯影槽中；所述清洗液制備組件用于制備清洗液，并將清洗液輸送至所述清洗槽中；所述傳輸組件用于沿傳輸方向傳輸半成品電池片，所述顯影槽和所述清洗槽依次設(shè)置于所述傳輸方向上。其中，電池片基底、電池片前驅(qū)體、第一處理片和第二處理片均為半成品電池片。
15、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述顯影液制備組件包括顯影供液管道和顯影供氣管道，所述顯影液制備組件的結(jié)構(gòu)可以為以下任意一種：(1)所述顯影供液管道和所述顯影供氣管道均與所述顯影槽連通；(2)所述顯影供液管道和所述顯影供氣管道均與壓力溶氣罐連通，所述壓力溶氣罐通過顯影供液主管將顯影液輸送至所述顯影槽中。
16、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述清洗液制備組件包括清洗供液管道和清洗供氣管道，所述清洗液制備組件的結(jié)構(gòu)可以為以下任意一種：(1)所述清洗供液管道和所述清洗供氣管道均與所述清洗槽連通；(2)所述清洗供液管道和所述清洗供氣管道均與壓力溶氣罐連通，所述壓力溶氣罐通過清洗供液主管將清洗液輸送至所述清洗槽中。
17、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述顯影槽和所述清洗槽上均設(shè)置有噴頭，位于所述顯影槽的所述噴頭與所述顯影液制備組件連接，位于所述清洗槽的所述噴頭與所述清洗液制備組件連接；其中，所述噴頭朝向所述輸送組件設(shè)置。
18、由此可見，本申請?zhí)峁┑囊环N顯影方法，通過含有碳酸鈉的藥液和微泡共同形成的顯影液處理電池片前驅(qū)體，能夠?qū)﹄姵仄膀?qū)體表面曝光區(qū)的感光膠有效去除，形成預(yù)設(shè)圖形的開口，并利用礦物液體和微泡共同形成的清洗液對顯影后獲得的第一處理片進(jìn)行處理，由于礦物液體中的礦物離子會(huì)與殘留在曝光區(qū)的感光膠反應(yīng)，從而去除開口中殘留的感光膠，并且能夠阻止感光膠與其他成分反應(yīng)，以使得清洗后獲得的第二處理片能夠符合后續(xù)加工的標(biāo)準(zhǔn)。
19、本申請?zhí)峁┑娘@影裝置包括顯影方法的全部技術(shù)方案，因此也具備顯影方法的全部技術(shù)優(yōu)點(diǎn)。
1.一種顯影方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯影方法，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯影方法，其特征在于，
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，所述顯影液中的微泡采用向所述藥液中通入氣體，并對氣液混合物加壓的方式形成；
10.一種顯影裝置，使用如權(quán)利要求1至9中任一權(quán)利要求所述的顯影方法，其特征在于，包括顯影槽、清洗槽、顯影液制備組件、清洗液制備組件和傳輸組件；
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯影裝置，其特征在于，所述顯影液制備組件包括顯影供液管道和顯影供氣管道，所述顯影液制備組件的結(jié)構(gòu)可以為以下任意一種：
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯影裝置，其特征在于，所述顯影槽和所述清洗槽上均設(shè)置有噴頭，位于所述顯影槽的所述噴頭與所述顯影液制備組件連接，位于所述清洗槽的所述噴頭與所述清洗液制備組件連接；